
Reaktiivisen ionietsauslaitten investointihanke, RIE-inv
Rahoittajat
Päärahoittaja
Pohjois-Karjalan maakuntaliitto



Hanketta rahoitetaan Euroopan Aluekehitysrahastosta (EAKR). Hanketta toteuttaa Itä-Suomen yliopisto.
Alueellisena fotoniikan kehittämisen tavoitteena on muodostaa kansainvälisesti tunnettu vahvaan tutkimukseen perustuva fotoniikan ekosysteemi, joka edesauttaa fotoniikan alan yritystoimintaa ja uuden yritystoiminnan käynnistymistä alueella.
Hankkeessa uusitaan vuodesta 2004 Itä-Suomen yliopiston käytössä ollut reaktiivinen ionietsauslaitteisto (RIE), joka on teknisen käyttöikänsä päässä, ja jonka varaosien saatavuus alkaa olla rajoittunut. RIE-laitteisto on ensiarvoisen tärkeä teknologia elektronisädekirjoituksella resistikalvoon kuvioitujen mikro- ja nanorakenteiden siirtämiseksi kestävämpiin materiaaleihin, kuten piihin tai metallikalvoihin.
Hankittava laitteisto parantaa sekä mikro- ja nanorakenteiden valmistuksen laatua ja ennen kaikkea merkittävästi jo olemassa olevan litografisen valmistusketjun luotettavuutta. Laitteisto hyödyttää paitsi Itä-Suomen yliopistossa tehtävää tieteellistä tutkimusta myös alueellista fotoniikan alan liiketoimintaa.